標(biāo)題：Veeco K465i設(shè)備耐高溫濾芯

產(chǎn)品概述

　　Veeco K465i設(shè)備耐高溫濾芯/Veeco K465i設(shè)備濾芯

　　產(chǎn)品說明：

　　該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計(jì)生產(chǎn)的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒； 2只/組（粗濾、細(xì)濾）

　　組成材料：

　　1、濾材： 耐高溫玻纖濾料

　　2、支撐材料：雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)

　　3、骨架：304#不銹鋼菱形網(wǎng)

　　4、密封墊圈：硅發(fā)泡橡膠墊片

　　5、密封膠：硅橡膠

　　規(guī)格：

　　1、端蓋：φ360*φ225， 304# 不銹鋼

　　2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5

　　3、折數(shù)：一級（100μm） :118 折 , 折高 65mm; 二級（ 25μm ） :88 折，折高 65mm

　　過濾效率：

　　1、粗濾：100μm=90%

　　2、細(xì)濾：25μm=99.95%

　　3、透氣量：1000L/Sec/㎡

　　產(chǎn)品特性：

　　1、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。

　　2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強(qiáng)，使用周期長。

　　3、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達(dá)250度以上。

　　4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護(hù)設(shè)備。

　　MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜材料的 技術(shù)，在LED 、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用。現(xiàn)有MOCVD 設(shè)備 的成本非常高，且依賴進(jìn)口，進(jìn)行MOCVD 設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源 領(lǐng)域以及 技術(shù)的發(fā)展都很有必要。

　　MOCVD 設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運(yùn)系統(tǒng)以 及整體控制系統(tǒng)。本文重點(diǎn)研究了氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難 點(diǎn)，并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點(diǎn)。

　　氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng)， 并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進(jìn)行尾氣處理。氣體輸運(yùn)包括源供給系統(tǒng)， 反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜，而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃?；?考慮，設(shè)備需 要定期進(jìn)行泄漏檢查。

　　由于MOCVD 系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆，雨其中的 化物源又，因此，必須對反應(yīng)過后的尾氣進(jìn)行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒

芯